来源:温州先锋阀门有限公司
近日,温州先锋阀门有限公司自主研发的“HGU 高性能半导体用球阀”获得国家实用新型专利授权(专利号:ZL202422218105.6)。该产品专为半导体制造等高真空应用场景设计,在结构设计、密封性能与国产适配性等方面取得关键突破,为实现核心工艺环节的国产替代提供了有力支撑。
长期以来,高真空阀门领域主要由欧美日等国外企业主导。 HGU 球阀的推出,标志着国内企业在关键部件性能上取得实质进展。产品支持DN63至DN100口径,兼容GB4892/ISO- KF 与GB6070/ISO- F 等多种连接标准,适配各类国产半导体设备,具备良好的集成性。根据企业方面提供的数据,产品在交付周期上可比进口产品缩短30%,整体成本降低约60%,并在长三角、珠三角等产业集聚区提供最快48小时现场响应服务,大幅提升本土供应效率。
据介绍,这款HGU 高性能半导体用球阀在真空管路系统中表现非常出色,能够持续保持清洁的动态密封,防止因故障导致的系统污染。该阀门以其极高的可靠性,适用于半导体制造中最具挑战性的高真空环境,保障设备稳定运行和工艺安全。